진공 LINE
고진공용 밸브
진공 환경내 반송에 사용 가능한 에어 실린더
흡착자국방지, 얇은 워크의 변형방지,워크에의 붙음 방지, 반도체 패드
진공용 디지털 표시 부착 압력센서, 전자밸브 제어기능 센서
배기라인 고진공밸브
배기라인 밸브 – 고진공
• 알루미늄제 고진공 L형 밸브
• 알루미늄제 원터치 탈착 고진공 L형 밸브
• 스테인리스제 고진공 L형 밸브
• 스테인리스제 고진공 스트레이트형 밸브
• N2 가스 / 에어 공급라인 2단 제어 밸브
• 사용압력: 대기압 ~ 1 X 10-6
• 사이즈: 플랜지 16~160 (제품군마다 상이)
진공 로드레스 실린더
진공 로드레스 실린더
• 진공 환경내 (1.3×10 −4 Pa) 반송에 사용 가능한 에어 실린더
• 몸체알루미늄 합금 리니어
• 가이드스테인리스
• O-ring불소 고무
• 실린더 내경: 15mm, 32mm
• 기본스트로크: 100mm ~ 700mm
슬릿밸브
슬릿밸브 – 전환밸브
반도체 장치, 로드 Lock 챔버와 트랜스퍼 챔버 및 트랜스퍼 챔버와 프로세스 챔버 사이와의 전환밸브로 적합
• 저발진: L모션
• End Lock 기구부착: 비상 정지시의 게이트 열림상태 및 닫힘상태 유지가 가능
• 수명: 200 만회
• 열림창 치수: 32*222 / 46*236 / 50*336
• 사용유체: 비활성 가스
디지털 표시부착 압력센서
디지털 표시 부착 압력센서
MPS-33 series
• 정압 압력 범위
진공압 타입 : -101.3kPa / 정압 타입 : -0.1~1MPa / 연성압 타입 : -101 ~ 500 kPa
• 사용유체 : 무급유 압축공기 (비부식,불연성 기체)
• 스위치 출력형태 : NPN 또는 PNP 오픈컬렉터 2점 출력
• 보호등급 – IP65 옵션가능
