Parker Veriflo

FR1000 :

초 고순도, (non-tied) 다이어프램, 압력 감속 조절기는 정밀한 프로세스 가스 제어 제공

다운 스트림 시스템에 안정된 흐름과 압력이 공급되며 밸브 매니 폴드, 가스 캐비닛 및 기타 다른 반도체 어플리케이션 적용 목적에 탁월한 성능 발휘

표준 Hastelloy C-22® , 금속-금속 다이어프램 씰은 누설이 되지 않는 무결성 보장

Product Features (제품특징):

• 316L stainless steel body

• Manufactured for ultra high purity gas delivery applications

• Metal-to-metal diaphragm seal standard

• Passivated & electropolished

• Integrated filtration

• Hastelloy® diaphragm standard

• 10 μ in. Ra surface finish

FR1000 외형 치수도

보다 자세한 제품 사양은 pdf 카달로그에서 확인 가능합니다.

FR1200 :

최대 1700 psig의 입구 압력으로 대용량 어플리케이션 적용.

하스텔로이 C-22다이아프램은 레귤레이터 전체작동 범위에 대한 안정적인 제어제공

위험 가스 응용 분야에 적용 가능하도록 설계

Product Features (제품특징):

• 316L stainless steel body
• Manufactured for ultra high purity semiconductor gas applications
• Metal-to-metal diaphragm seal
• 10 μin. Ra surface finish
• Passivated & Electropolished
• Tied diaphragm design
• Hastelloy C-22® diaphragm
• Flows up to 1200 slpm (42 scfm)

FR1200 외형 치수도

보다 자세한 제품 사양은 pdf 카달로그에서 확인 가능합니다.